Effect of Refresh Time on XeF2 Gas-assisted FIB Milling of GaAs
发表时间：2024-06-17
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- 第一作者：
- 孙吉宁
- 通讯作者：
- Zhang, Lei,Zhang, Yi,张磊,韩云龙
- 合写作者：
- 韩云龙
- 发表刊物：
- Nanomanufacturing and Metrology
- 文献类型：
- J
- 卷号：
- 6
- 期号：
- 1
- ISSN号：
- 2520-811X
- 是否译文：
- 否
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