Multi-functional platform of CMOS-based tungsten microhotplate as Pirani, temperature, and gas sensors
发表时间：2019-03-12
点击次数：
- 论文类型：
- 期刊论文
- 第一作者：
- 汪家奇
- 合写作者：
- 余隽
- 发表时间：
- 2015-01-01
- 发表刊物：
- Micromachines
- 文献类型：
- J
- 卷号：
- 6
- 期号：
- 11
- 是否译文：
- 否
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