导航
English 大连理工大学登录
等离子体谱学诊断课题组
科研项目
当前位置: 中文主页 >> 科研项目
壁表面刻蚀与再沉积原位诊断技术研究
发表时间:2016-08-09 点击次数:
负责人姓名: 丁洪斌
项目来源: 国家科技部
项目状态: 结题
项目来源单位: 科学技术部
项目性质: 纵向
项目编号: ZX20120417
项目批准号: 2013GB109005
立项时间: 2012-10-24
计划完成时间: 2017-08-31
开始日期: 2013-01-01
结项日期: 2018-07-06