Nanomechanical and Electrochemical Properties of Diamond-Like Carbon (DLC) Films Deposited by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Technique
发布时间:2024-07-31
点击次数:
- 发表时间:
- 2022-10-07
- 发表刊物:
- Plasma Science and Technology
- 所属单位:
- 化工学院
- 文献类型:
- J
- 卷号:
- 12
- 期号:
- 4
- 页面范围:
- 461-465
- ISSN号:
- 1009-0630
- 第一作者
- 王静
- 通讯作者
- 刘贵昌,徐军,邓新绿,王立达
