氟化类金刚石薄膜的研究进展
发布时间：2024-07-31
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- 论文类型：
- 期刊论文
- 发表时间：
- 2022-07-02
- 发表刊物：
- 真空科学与技术学报
- 文献类型：
- J
- 期号：
- 4
- 页面范围：
- 271-275
- ISSN号：
- 1672-7126
- 第一作者
- 张茹芝
- 通讯作者
- 刘贵昌,邓新绿
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