等离子体谱学诊断课题组
壁表面刻蚀与再沉积原位诊断技术研究
发布时间：2016-08-09
点击次数：
负责人姓名：
丁洪斌
所属单位：
物理学院
项目来源：
国家科技部
项目级别：
国家级
项目分类：
课题负责
项目状态：
结题
项目来源单位：
科学技术部
项目性质：
纵向
项目批准号：
2013GB109005
立项时间：
2012-10-24
计划完成时间：
2017-08-31
开始日期：
2013-01-01
结项日期：
2018-07-06
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