集成电路芯片制造关键工艺虚拟仿真实验项目之刻蚀工艺项目
发表时间：2021-01-29
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- 负责人姓名：
- 申人升
- 项目参与人员：
- 梁大成,郭吉洪,王彦霞,骆英民,刘勐,赵宇,柳阳,夏晓川,汪家奇,梁红伟
- 项目来源：
- 企事业单位委托科技项目
- 项目状态：
- 结题
- 项目来源单位：
- 北京润尼尔网络科技有限公司
- 项目性质：
- 横向
- 项目编号：
- HX20200746
- 立项时间：
- 2020-04-29
- 计划完成时间：
- 2021-04-30
- 开始日期：
- 2020-04-29
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