Effect of Refresh Time on XeF2 Gas-assisted FIB Milling of GaAs
发布时间：2024-04-01
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- 论文类型：
- 期刊论文
- 论文编号：
- 373079
- 发表时间：
- 2023-01-01
- 发表刊物：
- Nanomanufacturing and Metrology
- 文献类型：
- J
- 卷号：
- 6
- 期号：
- 1
- ISSN号：
- 2520-811X
- 第一作者
- 孙吉宁
- 合写作者
- 韩云龙
- 通讯作者
- Zhang, Lei,Zhang, Yi,韩云龙